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常州电子特气厂家,专注细节,创造卓越

2019-10-14 06:04:01 698次浏览

价 格:面议

目前国内的超高纯度净化技术主要依赖进口,自身的技术水准(6N)与国际先进水平(8-9N)有较大差距。本项目将设计和研发一系列高效、高容量、高选择性、低成本的新型纳米净化剂,对MO源、惰性气体、氢化物气体、反应性气体、腐蚀性气体等5个系列,50多种电子特气进行末端净化,使电子特气纯度由ppm级提高到ppb、ppt级,并将特气传输和控制系统对气体纯度的影响降至最小,从而极大地改善工艺能力,降低产品缺陷, 提高制程的产量,满足下一代半导体、微电子以及相关高技术发展的需要。本项目将形成有自主知识产权的超高纯度电子特气净化技术,解决超高纯度电子特气净化这一核心技术的国产化问题。

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